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常见的光学镀膜

2021-10-13 211 耀诠光电

光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。

光学镀膜原理
真空镀膜真空镀膜:真空镀膜主要是指需要在更高真空下进行的涂料,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等多种涂料。蒸发和溅射有两种主要类型。将被镀材料制成基材,将电镀材料用作靶材或药材。衬底处于与靶相同的真空中。

蒸发涂层通常是加热目标,以使表面组分以自由基或离子的形式蒸发,并通过成膜方法(散射岛结构 – 梯形结构 – 层状生长)沉积在基材的表面上,薄膜。

对于溅射状涂层,很容易理解目标材料是用电子或高能激光器轰击的,表面组分以自由基或离子的形式溅射,最后沉积在基底表面上最终形成一部薄膜。

常见的光学镀膜材料有以下几种
氟化镁材料特点:无色四方晶系粉末,纯度高,用其制备光学镀膜可提高透过率,不出崩点。
二氧化硅材料特点:无色透明晶体,熔点高,硬度大,化学稳定性好。纯度高,用其制备高质量Si02镀膜,蒸发状态好,不出现崩点。按使用要求分为紫外、红外及可见光用。
氧化锆材料特点 白色重质结晶态,具有高的折射率和耐高温性能,化学性质稳定,纯度高,用其制备高质量氧化锆镀膜,不出崩点。



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